Nové ventily SMC pro vysoké vakuum

Lehký, kompaktní ventil nabízí malé tělo s velkou vodivostí a odolností vůči korozi v důsledku působení fluoru. Rovnoměrná teplota zahřívání je dána vynikající tepelnou vodivostí zajišťující rozložení teploty po celém tělese ventilu, což se odráží i ve výrazném snížení kondenzace plynů uvnitř ventilu. Nízké uvolňování plynů umožňuje použít čerpadla o nižším výkonu. Vnitřní měchové těsnění (viz obr. nahoře) může být snadno vyměněno, což šetří náklady i materiál.
Ventil neobsahuje žádné těžké kovy, jako je nikl nebo chrom a díky nízké úrovni rozprašování pomáhá minimalizovat kontaminaci těžkými kovy při výrobě polovodičových destiček (waferů).
Produktovou řadu těchto nových pneumatických prvků rozšířil nedávno i model s elektromagnetickým ventilem, k dispozici je jako opční vybavení také ohřívač umožňující ohřev až na teplotu 100/120 °C. Pro jednotky s tímto topným modulem nabízí výrobce i možnost doplnění o tepelně odolný dvoubarevný indikátor s robustním automatickým přepínačem. Konstrukční řešení umožňuje snadnou montáž senzorů pro sběr provozních dat až do pracovní teploty 150 °C. Automatické přepínače jsou obdobně jako senzory montovatelné ze čtyř směrů na těleso ventilu.